621.382.8(06) Ф5035 2     Физические явления в технологии микроэлектроники [Текст] : сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники ; [редкол.: В. К. Неволин (отв. ред.) и др.]. — М. : Изд-во МИЭТ, 1981. — 103 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт