621.382.8 А432 2     Активируемые процессы технологии микроэлектроники [Текст] : междувед. темат. науч. сб. / Таганрог. радиотехнич. ин-т; [редкол.: Сеченов Д. А. (отв. ред.) и др.]. — Таганрог : ТРТИ, 1982. — 113 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	4	Перейти на сайт