621.382.8(06) Ф505 2     Физические явления в технологии микроэлектроники [Текст] : сб. науч. тр. / Моск. ин-т электронной техники. — М. : МИЭТ, 1982. — 88 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт