621.385.002(075.8)
А465 2	Александрова, Ариадна     Оборудование электровакуумного производства [Текст] : учеб. пособие для вузов по специальности "Полупроводниковое и электровакуум. машиностроение" / Ариадна Александрова. — М. : Энергия, 1974. — 384 с.