|
| 621.382.002(075.8) | Н632
2 | Николаев, Игорь
Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов [Текст] : [учеб. для техникумов по специальности "Оборудование пр-ва полупроводник. приборов"] / Игорь Николаев. — М. : Высш. шк., 1977. — 269 с. | |
| | |
|
