539.293(075.8)
Е515 2	Елисеев, Аркадий     Методы исследования дефектов структуры полупроводников [Текст] : учеб. пособие / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. хим. ин-т машиностроения. — М. : Изд-во Моск. ин-та хим. машиностроения, 1983. — 88 с.