621.315.592 Ф815 2 Гук Елена Григорьевна     Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии [Текст] : [монография] / отв. ред. А. В. Ельцов ; АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе. — Л. : Наука, 1984. — 118 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт