621.382.002 С404 2 Сироткин, Валерий     Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов [Текст] / Валерий Сироткин, Феликс Пресс. — М. : Энергия, 1979. — 209 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	5	Перейти на сайт