621.382.8(06)
М744 2	Моделирование, управление, контроль при производстве интегральных схем [Текст] : сб. науч. тр. / М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. ин-т электрон. техники ; [ред. Н. П. Кузнецова]. — М. : Изд-во Моск. ин-та электронной техники, 1983. — 99 с.