548.5 | Р78 2 | Рост полупроводниковых кристалов и пленок [Текст] : материалы 6 Всесоюз. конф. по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок, Новосибирск, 1982 / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. Л. Н. Александров. — Новосибирск : Наука, 1984. — 160 с. |
| | |
|