|
| 548.5 | Р78
2 | Рост полупроводниковых кристаллов и пленок [Текст] : материалы 6 Всесоюз. конф. по процессам роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок, Новосибирск, 1982 / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии ; отв. ред. Ф. А. Кузнецов. — Новосибирск : Наука, 1984. — 152 с. | |
| | |
|
