004.414.23:621.3.028
П883 3	Пукач, Андрій     Методи та компоненти комп'ютерної системи автоматичного контролю резистивних параметрів мікроелектромеханічних систем [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 / М-во освіти і науки України, Нац. ун-т "Львів. політехніка". — Л., 2013. — 163 с.