621.382.8 А432 2     Активируемые процессы технологии микроэлектроники [Текст] : междувед. темат. науч. сб. / Таганрог. радиотехнич. ин-т; [редкол.: Д. А. Сеченов (отв. ред.) и др.]. — Таганрог : [б. и.], 1984. — 153 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	3	Перейти на сайт