621.382.8 В155 2 Валиев, Камиль     Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / Камиль Валиев, Александр Раков. — М. : Радио и связь, 1984. — 350 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	2	Перейти на сайт