Зведений каталог бібліотек Львова
621.382.8(06)Э4552 Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике [Текст] : сб. науч. тр. / Моск. ин-т электрон. техники ; [редкол.: Т. Д. Шермергор (гл. ред.) и др.]. — М. : МИЭТ, 1983. — 135 с.
- Теми документа