621.382.8(06) И374 2     Измерение и контроль при производстве интегральных схем [Текст] : сб. науч. тр. / Моск. ин-т электронной техники ; [редкол.: Н. Д. Дубовой (гл. ред.) и др.]. — М., 1984. — 116 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт