621.382.8 П58 2 Попов, Виктор     Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии [Текст] / Виктор Попов, Станислав Ячменев. — М. : Радио и связь, 1985. — 128 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	4	Перейти на сайт