621.382.8(06)
Т338 2	Теоретические и прикладные вопросы проектирования, подготовки производства и технологии микроэлектронных устройств [Текст] : сб. науч. тр. по микроэлектронике : к 25-летию НИИИС / М-во атом. энергетики и пром-сти СССР, Науч.-исслед. ин-т измер. систем ; под ред. Ю. Е. Седакова. — М. : [б. и.], 1990. — 128, [3] с.