621.3.049.77
М52 2	Мержвинский, Анатолий     Методы повышения эффективности систем электронно-лучевого экспонирования [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / АН Украины, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова. — Киев, 1992. — 16 с.