539.21
Б901 2	Бубнов, Леонид     Закономерности химического газофазного осаждения поликристаллических пленок и систем нитевидных кристаллов на неориентирующих углеродных подложках [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / Воронеж. политехн. ин-т. — Воронеж, 1986. — 16 с.