|
| 621.52 | М801
2 | Морозов, Павел
Разработка и исследование инерционных преобразующих механизмов поступательного движения для вакуумного технологического оборудования производства изделий электронной техники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электрон. машиностроения. — М., 1989. — 22 с. | |
| | |
|
