|
| 621.382 | Б734
2 | Богдановский, Юрий
Создание твердых планарных источников фосфора для легирования кремния в технологии производства полупроводниковых приборов и интегральнчх микросхем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1984. — 24 с. | |
| | |
|
