|
| 621.3.049.77 | Л768
2 | Лонский, Иван
Разработка методов и устройств автоматизированного оптического контроля качества полупроводниковых планарных структур [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 / Винниц. политехн. ин-т. — Винница, 1983. — 24 с. | |
| | |
|
