|
| 621.382 | М758
2 | Молотков, Виктор
Исследование и разработка ионно-плазменной технологии формирования тонких диэлектрических плёнок для элементов интегральных схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1985. — 23 с. | |
| | |
|
