|
| 621.382 | М757
2 | Молоствов, Александр
Разработка технологии зонной перекристаллизации слоев поликристаллического кремния методом прямого лазерного нагрева для трехмерных СБИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1989. — 23 с. | |
| | |
|
