621.315.61
М928 2	Мучак, Иван     Синтез диэлектрического материала из оксида кремния для изоляции полупроводниковых приборов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.11 / Белорус. технол. ин-т им. С. М. Кирова. — Минск, 1983. — 18 с.