621.38(075.8)
Т384 2	Технология электронного машиностроения в дипломном проекте по специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение" [Текст] : метод. указания / Риж. политехн. ин-т, Каф. полупроводник. и электровакуум. техники ; [сост. Ю. Д. Дехтяр]. — Рига : РПИ, 1987. — 36 с.