621.382
М42 2	Медведев, Юрий     Исследование и разработка процесса осаждения пленок поликристаллического кремния в реакторе пониженного давления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Киев. политехн. ин-т. — Киев, 1982. — 22 с.