|
| 621.52 | М219
2 | Маляров, Сергей
Разработка и исследование вакуумных манипуляторов на основе высокочувствительных трубчатых элементов повышенной осевой жесткости [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.07 / Моск. ин-т электрон. машиностроения. — М., 1987. — 17 с. | |
| | |
|
