621.3.049.77
Л74 2	Ломакина, Ольга     Формирование топологии БИС в пленках тугоплавких металлов и углерода направленным потоком ионов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. машиностроения. — М., 1985. — 20 с.