|
| 62-50:539.2 | Б163
2 | Баженов, Евгений
Оперативное управление участком наращивания в производстве кремниевых однослойных эпитаксиальных структур [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 / МВ и ССО СССР, Моск. ин-т стали и сплавов. — М., 1988. — 17 с. | |
| | |
|
