621.793 | А877 2 | Архипов, Валерий Исследование и разработка оборудования для осаждения оптических покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.02.12 / МВ и ССО РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностроения. — М., 1984. — 21 с. |
| | |
|