621.52
А655 2	Андреева, Анна     Создание средств автоматизации для особочистых технологических сред и высокого вакуума [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.07 / МВ и ССО РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностроения. — М., 1988. — 25 с.