|
| 621.3.049.77 | А424
2 | Аксенов, Евгений
Исследование процесса и разработка методики сквозного проектирования на ЭВМ изображений элементов полупроводниковых структур [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.12 / Моск. ин-т электрон. машиностроения. — М., 1983. — 26 с. | |
| | |
|
