|
| 621.3.049.77 | Г167
2 | Галперин, Вячеслав
Исследование и разработка процессов прецизионного травления материалов в технологии производства БИС и СБИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1990. — 20 с. | |
| | |
|
