|
| 621.315.61 | Г714
2 | Горюнов, Игорь
Технологические аспекты получения структур кремния на стекловидной диэлектрической подложке методом переноса эпитаксиального слоя [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1987. — 24 с. | |
| | |
|
