621.3.049.77
Д793 2	Дубицкий, Владимир     Разработка и исследование алгоритмов и устройств распознавания дефектов топологии изделий микроэлектроники нелокальными методами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1984. — 23 с.