|
| 004.08 | К177
2 | Кальнов, Владимир
Ионно-лучевое травление металлических пленок в промышленной технологии формирования функциональных элементов СБИС ЗУ ЦМД [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.274.01 / МВ и ССО РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностроения. — М., 1989. — 18 с. | |
| | |
|
