621.3.049.77 И755 2 Ионов, Дмитрий     Разработка процессов формирования пленочных структур БИС в реакторах пониженного давления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1986. — 26 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт