621.374.4
Л33 2	Лебедев, Александр     Исследование и разработка системы автоматического регулирования мощности ВЧ разряда в установках плазмохимического травления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1982. — 24 с.