621.3.049.77 Г788 2 Грачев, Евгений     Моделирование тепловых эффектов электронно-лучевого экспонирования фотошаблонов БИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.12.18 / Моск. ин-т электрон. машиностроения. — М., 1984. — 24 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт