004.4 | Г37 2 | Герасимова, Алла Оптимальное управление распределенными технологическими процессами микроэлектронного производства [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.05 ; 05.13.07 / Моск. авиац. ин-т им. С. Орджоникидзе. — М., 1989. — 16 с. |
| | |
|