621.382.3
К845 2	Крупкина, Татьяна     Сквозное приборно-технологическое моделирование для интерактивного проектирования элементов МДП СБИС [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1987. — 23 с.