681.586
К84 2	Круглов, Владимир     Разработка чувствительного элемента датчиков малых механических величин на основе МДП ИС и исследование его характеристик [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Новосиб. электротехн. ин-т. — Новосибирск, 1987. — 18 с.