539.23 | С516 2 | Смородина, Татьяна Вхождение примесных центров в кристаллический слой полупроводника [Текст] : процессы образования монокристаллических слоев для микроэлектроники / АН СССР, Ин-т кристаллографии ; отв. ред. И. А. Смирнова. — Л. : Наука, 1986. — 178 с. |
| | |
|