621.793.1
И237 2	Ивахненко, Виктор     Магнетронные распылительные системы для нанесения тонких пленок с заданным распределением толщины [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.07 / АН БелССР, Ин-т электроники. — Минск, 1989. — 13 с.