|
| 621.315.59 | Ж911
2 | Журавлев, Андрей
Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / М-во науки, высш. шк. и техн. политики РФ, Моск. ин-т стали и сплавов. — М., 1993. — 20 с. | |
| | |
|
