548.4 Е785 2 Ерошин, Сергей     Методологические основы процесса алмазной резки слитков полупроводниковых монокристаллов [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1992. — 31 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	1	Перейти на сайт