|
| 621.3.049.77 | П274
2 | Перинский, Владимир
Разработка и применение имплантационных методов обработки материалов твердотельных СВЧ устройств ионами электрически неактивных примесей [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Моск. ин-т электрон. техники. — М., 1985. — 21 с. | |
| | |
|
