621.382.8 О-753 2     Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия [Текст] : пер. с англ. / под ред. Р. Бургера, Р. Донована. — М. : Мир, 1969. — 451 с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Львівського національного університету «Львівська політехніка»	2	Перейти на сайт